聚酰亚胺薄膜是电子元器件中重要的材料，它是高速度、高密度电子元件多层封装薄膜内部链接结构的介电材料，但它上面经常会覆盖一些微粒污染物，包括钛粒子、铬粒子、钨粒子、镍粒子等，需要清洗这些污染物，以确保聚酰亚胺薄膜正常工作。

激光除锈机公司曾做过一个实验，清洗聚酰亚胺薄膜，利用准分子激光器，选择波长为235纳米的激光，脉冲20ns，激光能量密度为80mj/cm2，采用自动化机器人作业方式，清洗效率极高，清洗后发现清洗效果极佳，利用光谱仪检测到污染物去除比率95%以上，已经达到了要求标准，清洗效率较高。“为什么不100%的去污呢，为啥还剩下5%呢，是不能去除吗？”，“确实还有5%没有被去除，但这并不代表不能去除，主要原因在于时间和效率，在完全去污的时间中，50%的时间内可以去除95%，另外50%的时间内去除剩下的5%，在实际作业中，清洗效率和清洗成本更加重要。”说明理论和实战还有一定的差距，在实际应用中，总是效率、效果、成本三者中一个微妙的平衡。一般来说普通的电子元器件能清除95%的污染物已经是极佳的清洗效果了。

激光在电子元器件清洗中的应用还有很多，比如电子线路板的清洗、硅片的清洗、集成电路的清洗、软性电路的清洗、光电器件的清洗等，这些材料随着科技的发展，集成度提高，针脚越来越多，孔也越来越小，传统的清洗方法难以奏效，激光清洗因为高精确性、易于自动化作业、参数可调、清洗效率高等优点，有效去除电子元器件表面的灰尘、油脂、氧化物等微粒，有效提升电子元器件耐久性。

激光清洗为微电子行业中器件尺寸小、细小微粒不易清洗的情况下提供了一种有效的可靠技术。同时激光清洗不存在对基底材料的磨损和腐蚀，符合环保要求，可以在狭窄的空间内作业，是其他任何清洗工艺比不了的。

激光清洗符合环保要求，符合可持续发展需要，随着激光清洗成本越来越低，激光清洗电子元器件被更多企业接受。在2016年以前，激光清洗电子元器件的成本是传统水洗和化学清洗成本的20倍，随着近几年激光清洗技术的发展和激光清洗设备的大幅降价，现在清洗成本已经接近传统成本啦。